[实用新型]离子源引出缝调节控制系统无效
| 申请号： | 200620113054.X | 申请日： | 2006-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN200964436Y | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 谢均宇;孙勇;王玮琪;王迪平 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源引出缝调节控制系统，包括主控制器、模拟量控制电路、直流电机、电位器和反馈控制驱动电路，其中模拟量控制电路一端通过光纤与主控制器连接，另一端与反馈控制驱动电路连接，反馈控制驱动电路与电机连接；模拟量控制电路将主控制器发送的位置信号转变成电压信号传送给反馈控制驱动电路，反馈控制驱动电路将电压信号进行处理后，驱动电机运动，电机带动引出缝在三个方向上移动到目标位置，电位器装在直流电机的转轴上，直流电机上装有丝杆。本实用新型将控制信号与反馈信号通过运算放大器的比较输出，消除了干扰信号引起的电压突变的状况，从硬件上解决了输出控制信号的抗干扰问题。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 引出 调节 控制系统 | ||
【主权项】：
1、离子源引出缝调节控制系统，包括主控制器、模拟量控制电路、直流电机、电位器和反馈控制驱动电路，其特征是模拟量控制电路一端通过光纤与主控制器连接，另一端与反馈控制驱动电路连接，反馈控制驱动电路与电机连接；模拟量控制电路将主控制器发送的位置信号转变成电压信号传送给反馈控制驱动电路，反馈控制驱动电路将电压信号进行处理后，驱动电机运动，电机带动引出缝在三个方向上移动到目标位置，电位器装在直流电机的转轴上，直流电机上装有丝杆。
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