[实用新型]试片研磨工具无效
| 申请号： | 200620164752.2 | 申请日： | 2006-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN200995364Y | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 石东益 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D17/00 | 分类号： | B24D17/00;H01L21/304;B24B29/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种试片研磨工具，适于将一试片定位在一研磨垫上。试片研磨工具包括一主体，其具有一接合面及多个凸柱。接合面适于让试片接合，以使试片的欲研磨处适于接触研磨垫。这些凸柱适于接触研磨垫，以将主体支撑于研磨垫上方。在藉由研磨垫来移除试片的欲磨除部分以后，可通过一观测设备来观测试片的表面或剖面。 | ||
| 搜索关键词： | 试片 研磨 工具 | ||
【主权项】：
1.一种试片研磨工具，其特征在于，适于将试片定位在研磨垫上，该试片研磨工具包括：主体，具有接合面及多个凸柱，其中该接合面适于让该试片接合其上，以使该试片的欲研磨处适于接触该研磨垫，而该些凸柱适于接触该研磨垫，以将该主体支撑于该研磨垫上方。
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