[发明专利]扫描电子束照射装置

摘要

本发明的目的在于提供一种扫描电子束照射装置，能够自动地校正扫描信号的视野偏移。本发明的扫描电子束照射装置(1)，具备：于二次元方向可移动的平台(3)、照射扫描电子束至试料的电子束源(2)、设置于试料的标记、检测出扫描电子束的照射位置而来的荷电粒子等的检测机构(4)、根据此检测机构而来的检测信号，形成扫描图像的图像形成机构(5)、检测出此图像形成机构所形成的扫描图像中的标记位置的位置偏移，并算出位置偏移校正系数，控制电子束源及平台的驱动的控制机构(7、8、9)。藉由采用具有多个电子束源的装置，可以校正电子束源间的相对的位置关系。

主权项

1、一种扫描电子束照射装置，其特征在于包括：平台，支持着试料并至少于二次元方向可移动；电子束源，照射扫描电子束至前述试料；标记，设置于前述试料；检测机构，检测出前述扫描电子束的照射位置；图像形成机构，根据前述检测机构而来的检测信号，形成扫描图像；以及控制机构，检测出前述图像形成机构所形成的扫描图像与前述标记的位置偏移，并算出位置偏移校正系数，根据该位置偏移校正系数，控制前述电子束源及平台的驱动。