[发明专利]自动聚焦跟踪系统

摘要

一种自动聚焦跟踪系统将指向TFT阵列的显微镜连续保持在焦点对准状态，以消除否则将会需要的自动聚焦时间。所述自动聚焦跟踪系统部分地包括显微镜Z执行机构，自动聚焦传感器，模数转换器，信号调节器、PID控制器以及数模转换器。执行机构调节显微镜物镜与目标之间的距离，所述执行机构部分地包括放大器、线性电机以及提供位置反馈的线性编码器。所述自动聚焦传感器与所述模数转换器以及所述信号调节器共同适于监控和检测显微镜物镜与目标之间的距离，并且向所述放大器提供测量后的距离。所述PID控制器与所述数模转换器共同使得令显微镜物镜和目标分开的距离保持稳定，从而保持最佳聚焦。

主权项

1.一种装置，包括：非接触式传感器，适于连续地测量控制端与面板之间的距离，所述面板相对于所述控制端处于运动状态；伺服控制系统，所述伺服控制系统进一步包括：控制电路，适于产生由测得的距离和第一预定值所限定的第一信号；以及执行机构，适于依照所述第一信号改变所述控制端的位置，以使得所述控制端与所述面板之间的距离连续不断地保持在预定范围内。