[发明专利]包括环状栅沟槽的功率半导体器件无效
申请号: | 200680002755.9 | 申请日: | 2006-01-26 |
公开(公告)号: | CN101107717A | 公开(公告)日: | 2008-01-16 |
发明(设计)人: | 马凌;R·特纳;A·I·阿马莉 | 申请(专利权)人: | 国际整流器公司 |
主分类号: | H01L29/94 | 分类号: | H01L29/94 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周建秋;王凤桐 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种包括环状栅沟槽的功率半导体器件。 | ||
搜索关键词: | 包括 环状 沟槽 功率 半导体器件 | ||
【主权项】:
1.一种功率半导体器件,该器件包括:第一导电率的漂移区;覆盖所述漂移区的第二导电率的基区;穿过所述基区延伸到所述漂移区的多个环状沟槽;形成在邻近所述基区的每个环状沟槽中的栅绝缘层;位于每个环状沟槽中的栅电极。
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