[发明专利]记录介质主盘用正型抗蚀剂组合物以及使用了该组合物的记录介质主盘的制造方法及母版的制造方法无效
申请号: | 200680013572.7 | 申请日: | 2006-04-18 |
公开(公告)号: | CN101185132A | 公开(公告)日: | 2008-05-21 |
发明(设计)人: | 今井玄儿;小岛大辅 | 申请(专利权)人: | 关西油漆株式会社 |
主分类号: | G11B7/26 | 分类号: | G11B7/26 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种显示出色的耐镀敷性及与玻璃等基板的粘附性的记录介质主盘用正型抗蚀剂组合物以及使用该正型抗蚀剂组合物的记录介质主盘(master)或母版(stamper)的制造方法,其中的记录介质主盘用正型抗蚀剂组合物的特征在于,含有乙烯基系聚合物,该乙烯基系聚合物具有如下所述的单体单元,即:具有用烷基乙烯基醚嵌段的碱溶性基。 | ||
搜索关键词: | 记录 介质 主盘用正型抗蚀剂 组合 以及 使用 制造 方法 母版 | ||
【主权项】:
1.一种记录介质主盘用正型抗蚀剂组合物,其特征在于,含有乙烯基系聚合物,该乙烯基系聚合物具有如下所述的单体单元,即:具有用烷基乙烯基醚嵌段的碱溶性基。
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