[发明专利]用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置和方法

摘要

为了在涂覆用于光学数据载体的片状衬底时在较低的装置费用下实现更多的灵活性，本发明提供了一种在真空输送腔中的带有1至n个输入/输出口和2至n个涂覆口的涂覆装置。一些其数量对应于涂覆口的数量的阴极溅射装置设置在真空输送腔的壁中。该装置可以平行地为两个至n个衬底提供大体上相同的覆层或者也可以是不同的覆层。此外它能够在串联运行中为衬垫提供两个至n个覆层。

主权项

1.用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置，其包括以下部分：构成真空腔的外壳，其中外壳具有至少两个涂覆口和至少一个输入/输出口，其中至少两个衬底可以同时通过输入/输出口装入真空腔中或从真空腔中卸出；至少两个阴极溅射装置，其中每个阴极溅射装置从外部真空密封地封闭外壳的涂覆口中的一个涂覆口，和其中阴极溅射装置各具有一个要溅射的靶子；布置在真空腔内的输送装置，其用于在至少一个输入/输出口和涂覆口之间同时输送至少四个衬底；和控制单元，其用于依据要求的涂覆结果这样地控制输送装置，使得衬底从至少一个输入/输出口按顺序地输送到第一涂覆口、第二涂覆口和接着输送到至少一个输入/输出口(串联控制)或这样地，使得衬底从至少一个输入/输出口输送到一个涂覆口和接着直接地输送到至少一个输入/输出口(并联控制)。