[发明专利]曝光设备无效
| 申请号： | 200680014527.3 | 申请日： | 2006-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN101167020A | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 桥口昭浩;弘田浩之;福井隆史 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种容纳曝光设备(10)的设备主体(20)的盖体(12)的容纳室(13)(曝光室15)，来自空气调节器的冷却空气对该容纳室(13)进行空气调节。感光材料(40)设置在容纳室(13)中的传送台(28)上并在扫描方向上传送。从导管(82)的流出口(82B)吹进曝光室(15)的冷却空气被气流方向改变板(90)沿扫描方向吹动。冷却空气使容纳室(13)沿扫描方向的温度分布变得均匀。实现了抑制沿扫描方向发生的温度偏差和温度变化。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 设备 | ||
【主权项】：
1.一种曝光设备，包括：曝光单元，其发射光束并扫描地曝光感光材料；传送机构，其相对于曝光单元相对地运动，并沿扫描方向传送感光材料，所述感光材料被配置和保持在配置表面上；容纳室，曝光单元和传送机构容纳在该容纳室中；空气调节单元，其向容纳室供应温度调整的空气，用于空气调节；和通风单元，其设置在容纳室上，并将来自空气调节单元的空气在沿扫描方向的方向上吹动。
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