[发明专利]定位载物台、使用该定位载物台的凸瘤形成装置和凸瘤形成方法

摘要

提供一种能够防止强制力作用于定好位的晶片的定位载物台、使用该定位载物台的凸瘤形成装置和凸瘤形成方法。把晶片(2)靠押在定位构件(28)上的靠押构件(26)，具有大体斜对晶片载置面(24a)的靠接面(26s)；靠接面(26s)靠接在晶片(2)的近旁，沿斜方向把晶片(2)靠押在晶片载置面(24a)上；弹性变形构件(27)把定位构件(28)保持在靠接定位在晶片(2)上的定位位置；在超过规定大小的靠押力作用于定位构件(28)上时，弹性变形构件(27)就弹性变形，而使定位构件(28)从定位位置退让开。

主权项

1.一种定位载物台，具备载置晶片的晶片载置面、定位构件和靠押构件；定位构件邻接被载置于所述晶片载置面上的晶片，并且沿大致垂直于所述晶片载置面的方向延伸；靠押构件靠接在被载置于所述晶片载置面上的晶片上，并把该晶片弹力靠押在所述定位构件上，其中，所述靠押构件具有略斜对所述晶片载置面的靠接面，该靠接面靠接在被载置于所述晶片载置面上的晶片的外缘近旁，并且把该晶片沿斜方向靠押在所述晶片载置面上。