[发明专利]固体摄像装置的制造方法、固体摄像装置及摄像机

摘要

在形成构成固体摄像装置的多层膜干涉滤光片之际，首先，在层间绝缘膜(304)上依次层叠二氧化钛层(401)、二氧化硅层(402)、二氧化钛层(403)及分隔层(404)，形成下位膜。接着，测量下位膜的反射率特性而特定下位膜的膜厚，若偏离了设计值，则改变分隔层(404)及作为上位膜的二氧化钛层(407、409)和二氧化硅层(408、410)的膜厚。按照该改变来蚀刻分隔层(404)而调整膜厚，在其上形成上位膜。

主权项

1.一种固体摄像装置的制造方法，其是利用分隔层被第一λ/4多层膜和第二λ/4多层膜夹持而成的多层膜干涉滤光片来对入射光进行滤光的固体摄像装置的制造方法，其特征在于，包括：形成第一λ/4多层膜的工序；在第一λ/4多层膜上形成分隔层的工序；测量由第一λ/4多层膜和分隔层构成的膜的反射率特性，特定膜厚的工序；形成第二λ/4多层膜的工序，其中，若特定的膜厚小于设计值则使第二λ/4多层膜的膜厚大于设计值，若特定的膜厚大于设计值则使第二λ/4多层膜的膜厚小于设计值。