[发明专利]形状检查方法及装置有效
申请号: | 200680025425.1 | 申请日: | 2006-07-14 |
公开(公告)号: | CN101223414A | 公开(公告)日: | 2008-07-16 |
发明(设计)人: | 平田和彦;矢岛辰雄;尊田嘉之 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | G01B21/20 | 分类号: | G01B21/20;G01B11/24 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 沙永生 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在无需为制品的每种样式准备检验台的情况下,实施形状检查。具有将被测物放置在实测用检验台的第1工序;获取与该被测物的表面形状相关的信息的第2工序;根据获得的与被测物的表面形状相关的信息,计算出被测物在失重状态下的形状数据的第3工序;根据被测物在失重状态下的形状数据,重新计算出被放置于规定检验台的状态下的被测物的形状数据,根据该重新计算的形状数据,判断被测物1的品质的第4工序。 | ||
搜索关键词: | 形状 检查 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.形状检查方法,其特征在于,具有,将被测物放置在实测用检验台的第1工序;获取与该被测物的表面形状相关的信息的第2工序;根据与上述被测物的表面形状相关的信息,计算出被测物在失重状态下的形状数据的第3工序;根据上述被测物在失重状态下的形状数据,重新计算出被放置于规定检验台的状态下的被测物的形状数据,根据该重新计算的被测物的形状数据,判断上述被测物的品质的第4工序。
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