[发明专利]反射膜用层叠体无效
申请号: | 200680027724.9 | 申请日: | 2006-07-04 |
公开(公告)号: | CN101233434A | 公开(公告)日: | 2008-07-30 |
发明(设计)人: | 蛭间武彦;进奈绪子 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | G02B5/08 | 分类号: | G02B5/08 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 沙永生 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供在整个可见光区域具有高反射率,耐湿性和耐盐水性等耐久性良好的层叠体。所述层叠体是在基板上依次层叠有银膜、密合改善膜、低折射率膜、高折射率膜的层叠体,其特征在于,前述低折射率膜中的至少密合改善膜侧的层通过使用氧化物靶材并采用含氮的溅射气体的高频溅射法形成,前述密合改善膜的消光系数在0.1以下且膜厚为0.5~4nm,前述低折射率膜的消光系数在0.01以下,前述高折射率膜的消光系数在0.01以下。 | ||
搜索关键词: | 反射 层叠 | ||
【主权项】:
1.层叠体,它是在基板上依次层叠有银膜、密合改善膜、低折射率膜、高折射率膜的层叠体,其特征在于,前述低折射率膜中的至少密合改善膜侧的层通过采用含氮的溅射气体的溅射法形成,前述密合改善膜的消光系数在0.1以下且膜厚为0.5~4nm,前述低折射率膜的消光系数在0.01以下,前述高折射率膜的消光系数在0.01以下。
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