[发明专利]成膜用材料及成膜用材料的推定方法无效
| 申请号： | 200680032304.X | 申请日： | 2006-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN101258260A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;中山尚三;伊藤日艺 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东北大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在对有机EL原料等的成膜用材料进行推定的方法中，通过所述常数Ko的值和所述活性化能量Ea的值，对蒸发量V(％)可以用下述公式：V＝(Ko/P)×e－Ea/kT表示(其中，Ko表示常数(％·Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度)的成膜用材料进行特定。 | ||
| 搜索关键词： | 用材 料及 推定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种成膜用材料，是蒸发量V(％)用下述公式表示的成膜用材料，V＝(Ko/P)×e-Ea/kT 其中，Ko表示常数(％·Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度，该成膜用材料的特征在于，通过所述常数Ko的值和所述活性化能量Ea的值进行特定。
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