[发明专利]MEMS装置及其互连

摘要

本发明提供一种微机电系统装置，其具有所述装置外部的电路与所述装置内的电极(16)和可移动层(14)的至少一者之间的电互连。所述电互连的至少一部分由与所述装置的所述电极(14)与机械层(92)之间的导电层相同的材料形成。在一实施例中，此导电层是牺牲层(60)，随后去除所述牺牲层(60)以在所述电极(16)与所述可移动层(14)之间形成腔(19)。所述牺牲层(60)优选地由钼、掺杂硅、钨或钛形成。根据另一实施例，所述导电层是优选地包括铝的可移动反射层(14)。

主权项

1.一种微机电系统装置，其包括：电极；可移动层；机械层，其在所述可移动层上；导电层，其在所述电极与所述机械层之间；以及电互连，其在所述装置外部的电路与所述电极和所述可移动层的至少一者之间，其中所述电互连的至少一部分和所述导电层由相同材料形成。