[发明专利]干涉测量的测量装置

摘要

本发明涉及一种用于具有第一干涉仪和第二干涉仪的干涉测量的测量装置的设备，其中通过辐射源向所述第一干涉仪输送短相干的辐射，所述辐射通过第一辐射分配器分为两个部分辐射，并且其中光程长度在一个部分辐射中长于在另一个部分辐射中，使得光程差大于所述辐射的相干长度，其中所述两个部分辐射在所述第一干涉仪的出口之前再度汇合并且输送给所述第二干涉仪，该第二干涉仪将所述辐射分为另外两个部分辐射，其中这两个部分辐射的光程长度不同，从而再度对在第一干涉仪中写入的光程差进行补偿，其中可以通过至少一个活动的光学元件来对在所述第一和第二干涉仪中的相应的部分辐射的光程长度进行调节，并且所述活动的光学元件以机械方式彼此相耦合。此外，本发明涉及一种用于在这样的干涉测量的测量装置中对光程差进行补偿的方法，其中通过以机械方式相耦合的活动的光学元件同时并且以相同的数值改变在所述两个干涉仪中的部分辐射之间的光程差。由此可以在一个工作步骤中改变在所述干涉仪的部分辐射中的光程差，其中保持遵守形成干涉的条件。

主权项

1.用于具有第一干涉仪(10)和第二干涉仪(20)的干涉测量的测量装置(1)的设备，其中通过辐射源(30)向所述第一干涉仪(10)输送短相干的辐射(31)，所述辐射(31)通过第一辐射分配器(11.1)分为两个部分辐射(32.1、32.2)，并且其中光程长度在一个部分辐射(32.1、32.2)中长于在另一个部分辐射(32.1、32.2)中，使得光程差大于所述辐射(31)的相干长度，其中所述两个部分辐射(32.1、32.2)在所述第一干涉仪(10)的出口之前再度汇合并且输送给所述第二干涉仪(20)，该第二干涉仪(20)将所述辐射分为另外两个部分辐射(35.1、35.2)，其中这两个部分辐射(35.1、35.2)的光程长度不同，从而再度对在第一干涉仪(10)中写入的光程差进行补偿，其特征在于，可以通过至少一个活动的光学元件(13、23、50、60)来对所述第一和第二干涉仪(10、20)中的相应的部分辐射(32.1、35.1)的光程长度进行调节，并且所述活动的光学元件(13、23、50、60)以机械方式彼此相耦合。