[发明专利]正型感光性树脂组合物有效

专利信息
申请号: 200680036814.4 申请日: 2006-09-01
公开(公告)号: CN101278234A 公开(公告)日: 2008-10-01
发明(设计)人: 金田隆行;花畑博之;金行洲;胁周三 申请(专利权)人: 旭化成电子材料元件株式会社;株式会社PI技术研究所
主分类号: G03F7/023 分类号: G03F7/023;G03F7/022;G03F7/40;H01L21/027
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 根据本发明,提供一种感光性树脂组合物,相对于100质量份缩聚物(A),其包含1~100质量份感光性重氮萘醌化合物(B),缩聚物(A)的重均分子量为3000~70000,该缩聚物(A)具有如下结构:1个或2个以上四羧酸二酐与1个或2个以上具有相互在邻位的氨基和酚羟基的芳香族二胺脱水缩合的结构。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,相对于100质量份缩聚物(A),包含1~100质量份感光性重氮萘醌化合物(B),其中所述缩聚物(A)的重均分子量为3000~70000,该缩聚物(A)具有由1个或多个四羧酸二酐与1个或多个具有相互在邻位的氨基和酚羟基的芳香族二胺脱水缩合形成的结构。
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