[发明专利]半导体处理装置以及方法

摘要

半导体处理装置具备检查半导体装置的测试器、显示部(25)、控制部(21)、IC标签读出器(29)及存储赋予各操作员的权限的辅助存储部(23)。控制部(21)用IC标签读出器(29)从已接近的操作员所持的IC标签中读取ID。然后，控制部(21)参照辅助存储部(23)根据所读取的ID来辨别该操作员的权限。并且，控制部(21)在辨别的权限范围内合成可输入指示以及可参照处理状况的操作画面，显示在显示部(25)中。当操作员从装置离开而不能读取ID时，控制部(21)启动屏幕保护来隐藏显示。

主权项

1.一种半导体处理装置，其特征在于，具备：半导体处理部，其对半导体装置进行处理；显示部，其具备显示画面并对图像进行显示；显示控制部，其使上述显示部显示用于对上述半导体处理部输入指示的指示输入画面以及/或者对上述半导体处理部的处理状况进行显示的处理状况显示画面；识别信息读取部，其非接触地读取存储在操作员所持的存储装置中的识别信息；以及权限存储部，其存储对赋予操作员的权限进行规定的权限规定信息，上述显示控制部具备：权限辨别部，其根据存储在上述权限存储部中的权限规定信息，辨别对由上述识别信息读取部读取的识别信息所确定的操作员赋予的权限；以及显示限制部，其在由该权限辨别部辨别的权限的范围内，生成操作员可以对上述半导体处理部输入指示以及/或者可以参照上述半导体处理部的处理状况的操作画面，并显示在上述显示部中。