[发明专利]晶片检查系统和用于移动晶片的方法有效
| 申请号： | 200680038570.3 | 申请日： | 2006-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN101517424A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | I·尼萨尼;M·瓦诺;A·吉莱德;M·韦纳;V·努兹尼 | 申请（专利权）人： | 卡姆特有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王会卿 |
| 地址： | 以色列米格*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于检查晶片的方法和系统。该系统包括：卡盘；和自动装置，该自动装置包括与从切割好的晶片的可拆卸适配器和未切割好的晶片的可拆卸适配器的组中选出的可拆卸适配器相连接的可动构件；其中切割好的晶片的可拆卸适配器成形为部分围绕该切割好的晶片并包括至少一个适合于将真空施加到支承该切割好的晶片的带上的真空槽；并且该自动装置适合于从盒中取出晶片并将该晶片放到卡盘上。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 检查 系统 用于 移动 方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶片检查系统，包括：卡盘；和自动装置，包括与从切割好的晶片的可拆卸适配器和未切割好的晶片的可拆卸适配器中的组选出的可拆卸适配器相连接的可动构件；其中切割好的晶片的可拆卸适配器成形为部分围绕该切割好的晶片并包括至少一个适合于将真空施加到支承该切割好的晶片的带上的真空槽；和该自动装置适合于从盒中取出物体并将该物体放到卡盘上。
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