[发明专利]评价工件结合位置的方法和设备有效
| 申请号： | 200680042034.0 | 申请日： | 2006-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN101479566A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | J·斯科沃兹 | 申请（专利权）人： | 普雷茨特影像有限及两合公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;B23K9/127 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 赵 科 |
| 地址： | 德国埃*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 为评价结合位置的位置和质量，在同一传感器、但是在其两个不同的区域21、22中摄取结合位置的具有光截面图案和灰度值图像的组合图像。分析灰度值图像，以便识别结合位置的质量。这允许以简单的方式识别结合位置的位置结合位置和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 评价 工件 结合 位置 方法 设备 | ||
【主权项】：
1. 一种用于探测工件(1，2)的结合位置(3；4)的方法，其中以光截面方法摄取用于探测结合位置的三维曲线的光线和结合位置的灰度值图像，并且所述灰度值图像被分析以评价结合位置的质量，其中光截面方法的光线和灰度值图像一起被摄取到传感器(20)、特别是CMOS传感器上，其特征在于，各光线的摄取分别在传感器(20)的第一区域(21)内进行，而灰度值图像的摄取在传感器的与第一区域不同的第二区域(22)内进行，这些区域在不同时间被曝光，并且传感器的这些区域在不同时间被读取。
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