[发明专利]用于真空测量计的遮蔽装置有效
| 申请号： | 200680043868.3 | 申请日： | 2006-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101313204A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | P·比约克曼;U·瓦尔克利;H·汉塞尔曼;S·杜里斯;M·武斯特 | 申请（专利权）人： | 英飞康有限责任公司 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00;G01L7/08;G01L9/00;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曹若;梁冰 |
| 地址： | 瑞士巴*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 一种用于真空测量计(15)的遮蔽装置，具有包围着遮蔽件(20)的管状的遮蔽壳体(14)，其中遮蔽壳体(6)具有用于与真空测量计(15)连接的排出开口(16)以及用于与待测量的对象腔室连接的连接开口(16，22)，并且遮蔽件(20)构造成具有螺旋形螺纹(21)的螺旋遮蔽件，其中其螺纹轮廓侧面在外直径中贴靠在遮蔽壳体(14)的内壁上，从而阻挡了螺纹轮廓侧面的外直径和内壁之间的气体通流，并且这种气体通流基本上被强制进入到螺旋形的螺距中；并且排出开口(16)处在管件(14)的一侧，而连接开口(22)处在位于对面的另一侧，并且螺旋遮蔽件(20)这样构造，使得在轴向的视线方向上，遮蔽装置(25)在两个开口(16，22)之间是光学密封的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 测量计 遮蔽 装置 | ||
【主权项】：
1.用于真空测量计(15)的遮蔽装置，带有包围着遮蔽件(7)的遮蔽壳体(6)，其中遮蔽壳体(6)具有用于与真空测量计(15)连接的排出开口(16)以及用于与待测量的对象腔室连接的连接开口(22)，并且遮蔽件(7)布置在两个开口(16，22)之间，其特征在于，所述遮蔽壳体(6，14)是管件(14)，并且遮蔽件(7，20)构造成具有螺旋形螺纹(21)的螺旋遮蔽件，其中其螺纹轮廓侧面在外直径中贴靠在遮蔽壳体(14)的内壁上，从而阻挡了螺纹轮廓侧面的外直径和内壁之间的气体通流，并且这种气体通流基本上被强制进入到螺旋形的螺距中；并且排出开口(16)处在管件(14)的一侧，而连接开口(22)处在位于对面的另一侧，并且螺旋遮蔽件(20)这样构造，使得在轴向的视线方向上，遮蔽装置(25)在两个开口(16，22)之间是光学密封的。
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