[发明专利]真空装置用闸阀有效
| 申请号： | 200680045212.5 | 申请日： | 2006-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101321888A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 饭岛荣一 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;F16K3/02;F16K51/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于蒸镀装置的真空装置用闸阀，即使其位于开阀位置时，也可以通过保护阀箱的内壁面及阀体的密封部件与蒸镀材料的蒸气隔离来提高蒸镀室真空保持的可靠性。作为电子枪用闸阀(1)，使用真空装置用闸阀，关闭阀时，与现有技术同样地阀体(3)把电子枪部从蒸镀室分离。打开阀时，通过把筒状的可动屏蔽件(22)插入阀的阀室(15)内，使阀室(15)与蒸镀室隔离，阀箱(2)的内壁面及阀体(3)的密封部件不暴露在蒸镀室内的蒸气中，以进行保护而避免蒸镀物(MgO)附着。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 闸阀 | ||
【主权项】：
1.一种真空装置用闸阀，其是隔离真空装置的处理室和电子枪部之间的阀，其特征在于，包括：在相向的侧壁部上分别具有开口的阀箱、开闭所述开口的阀体、开阀时从所述开口的处理室侧插入所述阀箱内的能够自由往复运动的筒状的可动屏蔽件、能够与所述可动屏蔽件的末端部抵接且设在所述开口的电子枪部侧的止挡部件、和使所述可动屏蔽件往复运动的驱动机构；通过利用所述驱动机构使所述可动屏蔽件的末端部和所述止挡部件接近，所述可动屏蔽件的内方侧的气氛与所述阀箱内的气氛被分离。
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