[发明专利]XY工作台执行器有效

专利信息
申请号: 200680045959.0 申请日: 2006-11-20
公开(公告)号: CN101326588A 公开(公告)日: 2008-12-17
发明(设计)人: 浅生利之;木村吉宏 申请(专利权)人: THK株式会社
主分类号: G12B5/00 分类号: G12B5/00;F16C29/04;F16C41/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 史雁鸣
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: XY工作台执行器,能内置可使搭载在工作台上的对象物在XY平面内自由移动且定位的驱动机构,并能实现显著的小型化、能将工作台的高度抑制得较低,由固定板(2)、移动板(5)、中间板(4)、X驱动机构(6)、Y驱动机构(7)构成。固定板具有沿X方向的收容槽;移动板具有沿Y方向的收容槽;中间板的下半体借助于滚动体组装在固定板的收容槽(20)内,上半体借助于滚动体组装在移动板(5)的收容槽内,中间板(4)可相对固定板向X方向、相对于移动板向Y方向自由移动;X驱动机构(6)相对于固定板向X方向推动中间板;Y驱动机构(7)相对于中间板向Y方向推动移动板,在中间板上分别设置了X驱动机构及Y驱动机构的收容室(40、41)。
搜索关键词: xy 工作台 执行
【主权项】:
1.一种XY工作台执行器,其特征在于,所述XY工作台执行器由固定板(2)、移动板(5)、中间板(4)、X驱动机构(6)、Y驱动机构(7)构成,所述固定板(2)具有沿X方向的收容槽(20),被形成为大致凹槽状;所述移动板(5)具有沿Y方向的收容槽,被形成为大致凹槽状;所述中间板(4)的下半体借助于滚动体(3)被组装在上述固定板的收容槽内,另一方面,所述中间板(4)的上半体借助于滚动体(3)被组装在上述移动板的收容槽内,该中间板(4)可相对于上述固定板向X方向、相对于上述移动板向Y方向自由移动;所述X驱动机构(6)相对于上述固定板,向X方向推动中间板;所述Y驱动机构(7)相对于上述中间板,向Y方向推动移动板;在上述中间板上分别设置了上述X驱动机构以及Y驱动机构的收容室(40、41)。
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