[发明专利]对位装置、接合装置和对位方法有效
| 申请号： | 200680046593.9 | 申请日： | 2006-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN101326457A | 公开（公告）日： | 2008-12-17 |
| 发明（设计）人： | 平田笃彦;福永茂树;山根茂树;名村光弘;铃木新;渡边智也 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;H01L21/68 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 曾旻辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对位装置，该对位装置可以可靠地修正电子元件之间的相对偏位量，并提高电子元件对位的精确性，同时，也公开了一种装有该对位装置的接合装置，以及一种对位方法。由于图像获取口(21)从腔体(3)的外表面向内凹进，从而形成一个空间(11)，即使当腔体(3)与第二部件(28)一起移动时，图像识别装置(47)设置在空间(11)内，从而可以防止与腔体(3)的运动产生干涉。这使得腔体(3)可以自由运动，而不受任何限制。从而，第一部件(12)和第二部件(28)中的一方可以相对另一方自由移动，而不受图像识别装置(47)的限制，从而第一部件(12)上的第一晶片(W1)和第二部件(28)上的第二晶片(W2)可以可靠地对位。 | ||
| 搜索关键词： | 对位 装置 接合 方法 | ||
【主权项】：
1.一种对位装置，包括：腔体；柔性波纹管，该柔性波纹管与所述腔体构成密封室；驱动单元，该驱动单元使第一部件和第二部件彼此相对移动，所述第一部件支撑第一电子元件且设置在所述密封室内，所述第二部件支撑第二电子元件且设置在所述密封室内；图像获取口，该图像获取口从所述腔体的外表面向内凹进，从而形成空间，所述图片获取口的一部分上具有观察窗口，从该观察窗口可观察到至少所述第一电子元件和所述第二电子元件之一。
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