[发明专利]旋转表面处理装置的运转条件确定方法

摘要

本发明涉及旋转表面处理装置的运转条件确定方法。本发明的课题在于准确且有效地导出镀敷运转时的最佳运转条件参数。首先，在通电状态下进行预备试验运转(S12)，然后考虑其结果，针对多个运转条件候补依次进行不通电的第1试验运转(S14)、通电的第2试验运转(S16)，记录最佳运转条件(S18)。

主权项

1.一种旋转表面处理装置的运转条件确定方法，该运转条件确定方法用于确定旋转表面处理装置的运转条件，该旋转表面处理装置用于对被处理物进行所期望的电镀处理，并且该装置具有如下部分：表面处理部，其使保持着表面处理液和被处理物的处理容器旋转，以使被处理物向处理容器的外周方向移动且使表面处理液流出，在这种状态下，对配设于处理容器的阳极和配设于处理容器的外周方向的阴极之间通电，由此进行电镀处理；和控制部，该控制部具有存储多个运转条件参数的存储部，并且基于存储在该存储部的运转条件参数，进行所述表面处理部的控制，所述旋转表面处理装置的运转条件确定方法的特征在于，存储在所述存储部的运转条件参数由流动参数和通电参数构成，以存储在所述运转条件存储部的流动参数为第1运转条件，在不进行通电的状态下，所述控制部控制所述镀敷处理部而进行第1试验运转，进而，考虑所述第1试验运转的结果，以存储在所述运转条件存储部的通电参数为第2运转条件，在进行了通电的状态下，根据所述第2运转条件，所述控制部进行第2试验运转，基于所述第2试验运转的结果，将被选择为最佳运转条件的运转条件记录在所述存储部。