[发明专利]重配置线路结构及其制造方法无效
申请号: | 200710000954.2 | 申请日: | 2007-01-15 |
公开(公告)号: | CN101226889A | 公开(公告)日: | 2008-07-23 |
发明(设计)人: | 鲁选锋 | 申请(专利权)人: | 百慕达南茂科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/48;H01L23/485;H01L23/498 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 英属百慕达群岛汉*** | 国省代码: | 百慕大群岛;BM |
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摘要: | 一种重配置线路结构的制造方法。提供一基板,且此基板具有多个接垫与一保护层,其中保护层具有多个第一开口,且各第一开口暴露出相对应的接垫的一部分。在保护层上形成一第一图案化光阻层,其中第一图案化光阻层具有多个第二开口,且各第二开口暴露出第一接垫的一部分。在开口内形成多个第一凸块。在基板上方形成一球底金属材料层,以覆盖第一图案化光阻层与第一凸块。在第一凸块上方的球底金属材料层上形成多个导线层。以导线层为遮罩,图案化此球底金属材料层,以形成多个球底金属层。因此,此种重配置线路结构能够承受较大的冲击能量。 | ||
搜索关键词: | 配置 线路 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种重配置线路结构的制造方法,其特征在于其包括以下步骤:提供一基板,该基板具有多个接垫与一保护层,其中该保护层具有多个第一开口,且各第一开口暴露出相对应的该接垫的一部分;在该保护层上形成一第一图案化光阻层,其中该第一图案化光阻层具有多个第二开口,且各第二开口暴露出该第一接垫的一部分;在上述开口内形成多个第一凸块;在该基板上方形成一第一球底金属材料层,以覆盖该第一图案化光阻层与上述第一凸块;在上述第一凸块上方的该第一球底金属材料层上形成多个导线层;以及以上述导线层为遮罩,图案化该第一球底金属材料层,以形成多个第一球底金属层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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