[发明专利]重配置线路结构及其制造方法无效

专利信息
申请号: 200710000954.2 申请日: 2007-01-15
公开(公告)号: CN101226889A 公开(公告)日: 2008-07-23
发明(设计)人: 鲁选锋 申请(专利权)人: 百慕达南茂科技股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L21/48;H01L23/485;H01L23/498
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 英属百慕达群岛汉*** 国省代码: 百慕大群岛;BM
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摘要: 一种重配置线路结构的制造方法。提供一基板,且此基板具有多个接垫与一保护层,其中保护层具有多个第一开口,且各第一开口暴露出相对应的接垫的一部分。在保护层上形成一第一图案化光阻层,其中第一图案化光阻层具有多个第二开口,且各第二开口暴露出第一接垫的一部分。在开口内形成多个第一凸块。在基板上方形成一球底金属材料层,以覆盖第一图案化光阻层与第一凸块。在第一凸块上方的球底金属材料层上形成多个导线层。以导线层为遮罩,图案化此球底金属材料层,以形成多个球底金属层。因此,此种重配置线路结构能够承受较大的冲击能量。
搜索关键词: 配置 线路 结构 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种重配置线路结构的制造方法,其特征在于其包括以下步骤:提供一基板,该基板具有多个接垫与一保护层,其中该保护层具有多个第一开口,且各第一开口暴露出相对应的该接垫的一部分;在该保护层上形成一第一图案化光阻层,其中该第一图案化光阻层具有多个第二开口,且各第二开口暴露出该第一接垫的一部分;在上述开口内形成多个第一凸块;在该基板上方形成一第一球底金属材料层,以覆盖该第一图案化光阻层与上述第一凸块;在上述第一凸块上方的该第一球底金属材料层上形成多个导线层;以及以上述导线层为遮罩,图案化该第一球底金属材料层,以形成多个第一球底金属层。
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