[发明专利]高频探针有效

专利信息
申请号: 200710001250.7 申请日: 2007-01-09
公开(公告)号: CN101221194A 公开(公告)日: 2008-07-16
发明(设计)人: 顾伟正;张嘉泰;林建和;何志浩;林合辉 申请(专利权)人: 旺矽科技股份有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067;G01R1/073;G01R31/00;G01R31/28
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 汤保平
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种高频探针,具有一金属针及至少一金属线,金属线是布设于金属针上并与之相互电性绝缘,至少一金属线为电性连接至接地电位,可维持信号探针传递高频信号的特性阻抗,并可使高频探针的最大径长维持近似或小于两倍的金属针的径长,可供探针卡上大量设置高频探针以供大量电子元件的探测,有效并快速的对电子元件进行晶圆级电性测试。
搜索关键词: 高频 探针
【主权项】:
1.一种高频探针,其特征在于,包括有:一金属针,具有一针尖、一针尾及介于该针尾与针尖之间的一固定部,该针尖用以点触电子元件,该针尾及该固定部用以固定于测试用电路板上;至少一金属线,是布设于该金属针上;以及,至少一绝缘层,是设于该金属针及该金属线之间。
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