[发明专利]桥接仓储的选择方法及系统

摘要

一种桥接仓储的选择方法。首先，依据第一及第二晶圆厂的多个设备的布局方式，分类多个设备为多个群组。指定一跨厂传输路线对应的桥接仓储群组。上述跨厂传输路线的起点及终点分别为不同厂中的群组。当接收到跨厂传输命令时，其中上述跨厂传输命令的起点设备及终点设备分别属于上述跨厂传输路线的起点及终点，取得上述跨厂传输路线对应的上述桥接仓储群组的实时信息。根据上述取得的实时信息以选择上述桥接仓储群组的其中一者作为上述适合的桥接仓储，以转运上述跨厂传输命令指定的晶圆传送盒。

主权项

1. 一种桥接仓储的选择方法，用以从多个桥接仓储中选择适合的桥接仓储，以在第一晶圆厂及第二晶圆厂之间转运至少一晶圆传送盒，包含：依据上述第一及第二晶圆厂的多个设备的布局方式，将上述多个设备分类为多个群组；根据上述多个群组指定二群组间一跨厂传输路线对应的桥接仓储群组，其中上述跨厂传输路线的起点及终点分别为第一群组及第二群组，其中上述第一群组位于上述第一及第二晶圆厂的其中一者内，上述第二群组位于上述第一及第二晶圆厂的其中另一者内；储存上述桥接仓储群组的预定信息；当接收到对应上述跨厂传输路线的跨厂传输命令时，其中上述跨厂传输命令的起点设备及终点设备分别属于上述第一群组及上述第二群组，取得上述跨厂传输路线对应的上述桥接仓储群组的实时信息，包含上述桥接仓储群组中每一桥接仓储的待处理命令数量及储位使用量；以及根据上述待处理命令数量、储位使用量及上述预定信息之中至少二项信息以选择上述桥接仓储群组的其中一者作为上述适合的桥接仓储，以转运上述跨厂传输命令指定的该晶圆传送盒。