[发明专利]气体输送装置无效
| 申请号： | 200710004757.8 | 申请日： | 2007-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101235938A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 孙达生;施重庆;黄文旺 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气体输送装置，包括阀箱主体、升降装置以及多个管件。升降装置连接于阀箱主体，这些管件连接于阀箱主体与使用点之间。阀箱主体可藉由控制升降装置来调整其位置。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 输送 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种气体输送装置，适用于配送一工艺气体至一使用点，包括：一阀箱主体；一升降装置，连接该阀箱主体，以调整该阀箱主体的位置；以及一第一管件，该第一管件连接于该阀箱主体与该使用点之间。
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