[发明专利]用于清洁离子注入机的静电吸盘的装置无效
| 申请号： | 200710005560.6 | 申请日： | 2007-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN101075545A | 公开（公告）日： | 2007-11-21 |
| 发明（设计）人： | 文景泰 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;谭昌驰 |
| 地址： | 韩国京畿道水*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于清洁离子注入机中的静电吸盘的装置。该装置包括：电源，用于产生热丝电压；静电吸盘，用于吸入晶片；热丝，安装在静电吸盘的内部，通过由电源提供的热丝电压驱动热丝，用于从静电吸盘发热。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洁 离子 注入 静电 吸盘 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于清洁离子注入机中的静电吸盘的装置，所述装置包括：电源，用于产生热丝电压；静电吸盘，用于吸入晶片；热丝，安装在所述静电吸盘的内部，通过由所述电源提供的热丝电压驱动所述热丝，用于从所述静电吸盘发热。
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