[发明专利]半导体装置及半导体封装结构有效
申请号: | 200710005832.2 | 申请日: | 2007-02-25 |
公开(公告)号: | CN101110401A | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
发明(设计)人: | 卢思维;邹觉伦 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/485 | 分类号: | H01L23/485;H01L25/00;H01L25/065;H01L25/18;H01L23/488 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种半导体装置,包括:半导体基板,具有上表面与下表面,该上表面包含至少一装置区;至少一沟槽,从该基板下表面穿过该基板,并连接至该装置区;导电层,填入部分该沟槽;以及粘着层,沉积于该导电层上,并填满该沟槽。根据本发明的封装技术可使用热分散层,使得装置有较佳的热分散效果。此外,封装过程中不会有任何焊盘污染的事情发生,同时其芯片尺寸也小于倒装提供的芯片尺寸。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 封装 结构 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,包括:半导体基板,具有上表面与下表面,该上表面包含至少一装置区;至少一沟槽,从该基板下表面穿过该基板,并连接至该装置区;导电层,填入部分该沟槽;以及粘着层,沉积于该导电层上,并填满该沟槽。
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