[发明专利]横向剪切干涉仪的胶合检测方法

摘要

一种横向剪切干涉仪的胶合检测方法，在待胶合横向剪切干涉仪上均匀地涂覆光敏胶，竖直放于精密调整平台的高精度光学平板上。由激光器输出的激光经散射板及平行光管形成均匀平行光，照在待胶合横向剪切干涉仪上。用数码相机接收待胶合横向剪切干涉仪出射端形成的干涉条纹，在计算机上实时显示。计算N₀个干涉条纹占数码相机的CCD像元数M₀，微移两棱镜，读取N₀个干涉条纹占数码相机的CCD像元数M，到CCD像元数M为M₀时止，使两棱镜定位。固化被胶合的两棱镜。本发明解决了背景技术中横向剪切干涉仪的横向剪切量难以准确控制的技术问题。本发明横向剪切量误差可控制在1％以内。

主权项

1.一种横向剪切干涉仪的胶合检测方法，该方法包括以下实现步骤：(i)在待胶合横向剪切干涉仪(401)的上、下两棱镜的胶合面上均匀地涂覆光学胶，然后竖直放置于精密调整平台(403)上的高精度光学平板(402)上；(ii)由激光器(1)输出的激光经散射板(2)散射，经平行光管(3)扩束后，形成均匀平行光，照在待胶合横向剪切干涉仪(401)上；(iii)用数码相机(5)接收待胶合横向剪切干涉仪(401)出射端形成的干涉条纹，并在计算机(6)的显示屏上实时显示；(iv)理论计算N0个干涉条纹占数码相机(5)的CCD像元数M0：M0=f′Δ·d·N0·λ 其中，λ为激光器(1)输出的激光波长，f′为数码相机(5)的焦距，d为CCD像元尺寸，Δ为设计要求的横向剪切量；(v)使被胶合的、尚未固化的两棱镜作微量相对移动，读取N0个干涉条纹占数码相机(5)的CCD像元数M；直到CCD像元数M为M0时，停止移动，使两棱镜定位；(vi)固化两棱镜间的胶。