[发明专利]用于清洗硅片的刷片头有效
| 申请号： | 200710040834.5 | 申请日： | 2007-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN101305861A | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | 宁开明;伍强;毛玮;陈志刚 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | A46B13/02 | 分类号： | A46B13/02;A46B7/08;B08B1/04 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅片表面清洗设备的刷片头，公开了一种用于清洗硅片的刷片头，包括至少两个刷子，且该刷子可受刷子驱动机构的驱动而以不同速度转动。本发明用于清洗硅片的刷片头，能有效提高硅片表面颗粒的去除率，并减少停留于刷子毛之间的颗粒对硅片表面产生的划伤和二次沾污。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洗 硅片 片头 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洗硅片的刷片头，其特征在于，所述刷片头包括至少两个刷子，且该刷子可受刷子驱动机构的驱动而以不同速度转动。
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