[发明专利]化学机械研磨机台的维护方法无效
| 申请号： | 200710043874.5 | 申请日： | 2007-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101347920A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 陈肖科;张溢钢 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B37/04;B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械研磨机台的维护方法。现有的化学机械研磨机台通过分步执行研磨消耗品更换与维护、新研磨垫磨合和刷子磨合步骤来实现常规维护，其花费时间较长，大大降低了机台的使用效率。本发明的维护方法在完成研磨消耗品更换与维护后，同时执行研磨垫磨合和刷子磨合步骤。通过将研磨垫磨合和刷子磨合步骤有机结合，可将磨合时间缩短一半，从而使每月花费在机台常规维护上的时间平均减少6小时，提高了0.83％的机台使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 机台 维护 方法 | ||
【主权项】：
1、一种化学机械研磨机台的维护方法，其特征在于：在完成研磨消耗品更换与维护后，同时执行研磨垫磨合和刷子磨合步骤。
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