[发明专利]脉冲信号的逼近方法有效
| 申请号： | 200710044848.4 | 申请日： | 2007-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN101110156A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 李焕炀;陈勇辉;周畅;严天宏 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G08C19/16 | 分类号： | G08C19/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种脉冲信号的逼近方法，用于逼近实际工程中探测到的脉冲辐射探测信号，该方法以脉冲衰减指数系数c为参数得到脉冲延续时间t与脉冲辐射信号逼近值f(t)的关系，所述关系由式f(t)＝p(t)ect+h(t)确定。其中，脉冲辐射探测信号f(t)＞0，p(t)为关于脉冲延续时间t的多项式，h(t)为关于脉冲延续时间t的直流漂移分量。该逼近方法用于在光刻装置的对准系统中对脉冲辐射探测信号的能量进行计算和对扩展采样进行同步校准。与现有技术相比，本发明的技术方案采用了较现有技术更佳的非对称逼近方法，其精度非常高，且稳定性较强。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 信号 逼近 方法 | ||
【主权项】：
1.一种脉冲信号的逼近方法，用于逼近实际工程中探测到的脉冲辐射探测信号，其特征在于，所述方法以脉冲衰减指数系数c为参数得到脉冲延续时间t与脉冲辐射信号逼近值f(t)的关系，所述关系由下式确定：f(t)＝p(t)ect+h(t)其中，脉冲辐射探测信号f(t)＞0，p(t)为关于脉冲延续时间t的多项式，.h(t)为关于脉冲延续时间t的直流漂移分量。
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