[发明专利]塑封模具清洗用框架及其清洗塑封模具的方法有效
申请号: | 200710046485.8 | 申请日: | 2007-09-26 |
公开(公告)号: | CN101396853A | 公开(公告)日: | 2009-04-01 |
发明(设计)人: | 舒海波;齐顺增;龚敏 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | B29C33/72 | 分类号: | B29C33/72 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种塑封模具清洗用框架,其框架主体采用硬质材料,其上设有至少一个镂空,所述镂空与塑封模具型腔对应,形状相似于塑封模具型腔工作截面形状,且镂空面积小于塑封模具型腔工作截面面积。本发明还提供一种清洗塑封模具的方法。本发明在框架主体上设有与塑封模具型腔对应的镂空,在清洗完塑封模具后,可将清洗树脂从镂空处推出,使塑封模具清洗用框架的利用率提高。且镂空面积小于塑封模具型腔工作截面面积,能使清洗树脂固定于框架主体上与框架主体一起从塑封模具上移除,使清洗树脂不会残留于塑封模具型腔内,提高了清洗效率。 | ||
搜索关键词: | 塑封 模具 清洗 框架 及其 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种塑封模具清洗用框架,其框架主体采用硬质材料,其上设有至少一个镂空,其特征在于:所述镂空与塑封模具型腔对应,形状相似于塑封模具型腔工作截面形状,且镂空面积小于塑封模具型腔工作截面面积。
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