[发明专利]一种半导体制造工艺配方管理方法无效
| 申请号： | 200710063225.1 | 申请日： | 2007-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN101216698A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 菅彦彬 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 练光东 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体工厂自动化技术领域，尤其涉及一种半导体制造工艺配方管理方法。本发明的半导体制造工艺配方管理方法在工厂自动化系统和设备之间进行明确的功能角色划分的基础上，依照系统和设备之间连接、断开、管理等若干策略来实现对工艺配方的管理。本发明通过对工厂自动化系统和设备角色的明确划分，两个系统协同管理工艺配方，降低了管理的复杂性，从而提高了管理的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 制造 工艺 配方 管理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体制造工艺配方管理方法，其特征在于该方法在工厂自动化系统和设备之间进行明确的功能角色划分的基础上，依照如下策略来实现对工艺配方的管理：A)工厂自动化系统连接一个新设备的策略；B)工厂自动化系统断开与一个设备的连接的策略；C)工厂自动化系统要求设备删除其含有的一个工艺配方的策略；D)工厂自动化系统设计一个工艺配方下发到设备的策略；E)工厂自动化系统中的一个工艺配方发生变化的策略；F)工艺配方在多个设备之间自动散发的策略。
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