[发明专利]显示装置制造系统无效
| 申请号： | 200710090332.3 | 申请日： | 2007-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN101051191A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 朴熙珍;金圣培;尹锡壹;郑宗铉;许舜范;辛成健;郑世桓;许铉;金柄郁 | 申请（专利权）人： | 株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;B01D29/00 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄威;徐金伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在通过过滤装置过滤流体之前除去流体中浮游物的显示装置制造系统。本发明的显示装置制造系统包括：工作腔室，在其内部利用工作流体去除显示面板上工作层中的多余部分；浮游物过滤单元，其接收由工作腔室所排出的工作流体，并滤除工作流体中所含有的工作层浮游物；过滤装置，其接收由浮游物过滤单元所排出的工作流体，并滤除工作流体中所含有的工作层成分；流体储存槽，其用于储存通过过滤装置滤除工作层成分后的工作流体。 | ||
| 搜索关键词： | 显示装置 制造 系统 | ||
【主权项】：
1.一种显示装置制造系统，其特征在于，包括：工作腔室，在其内部利用工作流体去除形成在显示面板上的工作层中多余部分；浮游物过滤单元，其接收工作腔室所排出的工作流体，并滤除含在所述工作流体中、并由所述工作层产生的浮游物；过滤装置，其接收浮游物过滤单元所排出的工作流体，并滤除含在所述工作流体中的所述工作层成分；流体储存槽，其用于储存通过过滤装置滤除工作层成分后的工作流体。
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