[发明专利]扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台有效
| 申请号： | 200710094257.8 | 申请日： | 2007-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN101441970A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 裘莺 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，包括底座和与底座相配合的放置样品的平台，放置样品的平台表面设有与平台表面成15度至90度的活动槽，该活动槽设有调节活动槽宽度的活动槽宽度调节装置。本发明通过在样品台的平台上设置与样品台平台呈一定的角度活动槽，在观察硅片的表面之后将扫描电子显微镜转动一定的角度就可以进行硅片的断面观察，节约了工作的时间，降低工作成本，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 硅片 样品 观察 | ||
【主权项】：
1. 一种扫描电子显微镜硅片样品观察的样品台，包括底座和与底座相配合的放置样品的平台，其特征在于，放置样品的平台表面设有与平台表面成15度至90度的活动槽，该活动槽设有调节活动槽宽度的活动槽宽度调节装置。
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