[发明专利]实现HALL芯片硅片级测试的探针卡及测试方法有效
| 申请号： | 200710094361.7 | 申请日： | 2007-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN101452009A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 武建宏 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/18;G01R31/00;G01R31/28;G01R33/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周 赤 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实现HALL芯片硅片级测试的探针卡，包括多个探针；还包括一个HALL传感器，该HALL传感器连接在两个探针的探测端上。本发明还公开了一种相应测试方法，包括如下步骤：将探针卡置于M1磁场下，测量感应电流I1；将探针卡置于实际测量环境磁场M2中，测量感应电流I2；测量被测HALL芯片上的HALL传感器在实际M2磁场下的感应电流I3；根据公式I1∶I2＝M1∶M2＝ΔI∶I3，计算出磁场M1下的感应电流ΔI作为补正值，写入被测HALL芯片中。因为本发明的探针卡采用一个HALL传感器测试感应电流，进而求出感应磁场的强度，可以在硅片级测试中对被测芯片的感应初始值进行调整，实现同测。 | ||
| 搜索关键词： | 实现 hall 芯片 硅片 测试 探针 方法 | ||
【主权项】：
1、一种实现HALL芯片硅片级测试的探针卡，包括多个探针；其特征在于，还包括一个HALL传感器，所述HALL传感器连接在两个所述探针的探测端上。
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