[发明专利]基板的旋转装置、磨边装置及磨边方法无效
| 申请号： | 200710096094.7 | 申请日： | 2007-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN101284365A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 卓庭义 | 申请（专利权）人： | 奇美电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/10 | 分类号： | B24B9/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板的旋转装置，其包括辅助支撑单元以及旋转支撑单元。辅助支撑单元具有两个支撑元件，支撑元件相对而设，且支撑元件形成第一支撑状态及第二支撑状态。当支撑元件于第一支撑状态时，两个支撑元件相距第一距离，当支撑元件于第二支撑状态时，两个支撑元件相距第二距离；旋转支撑单元具有旋转元件，旋转元件设置于支撑元件之间并用以旋转基板。另外，本发明还披露了一种基板的磨边装置以及一种基板的磨边方法。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 装置 磨边 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基板的旋转装置，包括：辅助支撑单元，具有两个支撑元件，这些支撑元件相对而设，且这些支撑元件具有第一支撑状态及第二支撑状态，当这些支撑元件于该第一支撑状态时，这些支撑元件相距第一距离，当这些支撑元件于该第二支撑状态时，这些支撑元件相距第二距离；以及旋转支撑单元，具有旋转元件，该旋转元件设置于这些支撑元件之间并用以旋转基板。
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