[发明专利]获得改进前馈数据的方法、平版印刷设备和器件制造方法有效
申请号: | 200710096636.0 | 申请日: | 2007-04-19 |
公开(公告)号: | CN101059658A | 公开(公告)日: | 2007-10-24 |
发明(设计)人: | M·F·希特杰斯 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司;皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/027 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 龚海军;王小衡 |
地址: | 荷兰费*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 提出一种方法,所述方法获得用于前馈控制系统的改进的前馈数据,从而通过设定点分布轮廓移动一个部件。所述设定点分布轮廓包括部件的多个目标状态,每个目标状态基本上是在对应序列的目标时间之一获得的。所述的方法包括:按照设定点分布轮廓使用第一组前馈数据并且使用前馈控制系统来移动所述部件;在移动期间在多个时间测量部件的状态;比较测量的状态与通过设定点分布轮廓确定的对应目标状态,以获得一组误差;用非线性滤波器滤波这组误差;根据经过滤波的误差产生改进的前馈数据,所述改进的前馈数据可以由前馈控制系统使用来更加准确通过设定点分布轮廓移动部件。 | ||
搜索关键词: | 获得 改进 数据 方法 平版印刷 设备 器件 制造 | ||
【主权项】:
1、一种方法,用于获得用于前馈控制系统的改进的前馈数据,从而通过设定点分布轮廓移动一个部件,所述设定点分布轮廓包括所述部件的多个目标状态,每个目标状态基本上是在对应序列的目标时间之一上获得的,所述的方法包括:a)按照设定点分布轮廓使用第一组前馈数据并且使用前馈控制系统来移动所述部件;b)在所述移动期间在多个时间上测量所述部件的状态;c)比较测量的状态与通过所述设定点分布轮廓确定的对应目标状态,以获得一组误差;d)用非线性滤波器滤波所述这组误差;e)根据经过滤波的误差产生改进的前馈数据,所述改进的前馈数据可以由所述前馈控制系统使用来更加准确通过设定点分布轮廓移动所述部件。
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