[发明专利]显示面板及其薄膜晶体管基板的制造方法有效

专利信息
申请号: 200710102482.1 申请日: 2007-04-30
公开(公告)号: CN101299431A 公开(公告)日: 2008-11-05
发明(设计)人: 许博文 申请(专利权)人: 奇美电子股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L23/522;H01L21/84;H01L21/768;G02F1/1362
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 左一平
地址: 台湾省台南县*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种显示面板,包括一基板及一薄膜晶体管基板,薄膜晶体管基板与基板平行设置。薄膜晶体管基板包括一底材、一像素电极、一绝缘层及一薄膜晶体管。像素电极设置于底材上并具有一第一端,绝缘层设置于底材之上用以覆盖第一端,绝缘层具有一接触孔。薄膜晶体管包括一栅极、一硅半导体层、一接触层、一源极及一漏极。栅极设置于底材与绝缘层之间,硅半导体层设置于部分的绝缘层上,源极及漏极设置于接触层之上,用以对应地与接触层接触,漏极通过接触孔与像素电极耦接。本发明的显示面板可以较少道掩模制程完成薄膜晶体管基板,有效降低制程成本并缩短制程时间。
搜索关键词: 显示 面板 及其 薄膜晶体管 制造 方法
【主权项】:
1.一种显示面板,其特征在于,包括:一基板;以及一薄膜晶体管基板,与所述基板平行设置,并包括:一底材;一像素电极,设置于所述底材上,并具有一第一端;一第一绝缘层,设置于所述底材之上,用以覆盖所述第一端,所述第一绝缘层具有一第一接触孔;以及一薄膜晶体管,包括:一栅极,设置于所述底材与所述第一绝缘层之间;一硅半导体层,设置于所述第一绝缘层上;以及一源极及一漏极,设置于所述第一绝缘层之上,用以对应地与所述硅半导体层的二端耦接,所述漏极通过所述第一接触孔与所述像素电极耦接。
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