[发明专利]探针顶端的检测方法、校准方法及存储介质和探针装置有效
| 申请号： | 200710104627.1 | 申请日： | 2007-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN101082636A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 河野芳尚 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/06 | 分类号： | G01R1/06;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种探针顶端检测方法，先于检测出探针顶端的水平方向位置进行，利用具备第一CCD照相机(13B)和设在载置台(11)上的第二CCD照相机(13C)的校准机构(13)，在检测出设在载置台(11)上方的多个探针(12A)的顶端高度时，包括：利用第一CCD照相机(13B)检测出设在载置台(11)上的负荷传感器的高度的工序、使载置台(11)移动而使负荷开关(16)与探针(12A)接触，根据载置台(11)的移动量检测出探针(12A)顶端高度的工序。通过该方法，即使种类各异或制造上存在误差的探针卡，在校准时也能准确且高精度检测出探针卡的探针顶端高度，并在校准时还能确保防止探针卡出现损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 顶端 检测 方法 校准 存储 介质 装置 | ||
【主权项】：
1.一种探针顶端的检测方法，其特征在于：其是利用具备第一摄像装置以及设置在可移动载置台上的第二摄像装置的校准机构，先于检测出探针顶端的水平方向的位置，检测出设置在所述载置台的上方的多个探针的顶端高度的方法，该方法包括：利用所述第一摄像装置检测出设置在所述载置台上的负荷传感器的高度的第一工序；和使所述载置台移动而使所述负荷传感器与所述探针接触，根据所述载置台的移动量检测出所述探针的顶端的高度的第二工序。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710104627.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
