[发明专利]预涂辊子清洗单元及清洗方法和基板涂敷装置有效
| 申请号： | 200710107408.9 | 申请日： | 2007-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101085446A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 权晟 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B05C1/08;B05C21/00;B05D7/24 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;刘奕晴 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于清洗基板涂敷装置的预涂辊子的清洗单元，尤其涉及包含外壳和向所述外壳内部发射超声波的超声波生成单元的清洗单元及包含该清洗单元的基板涂敷装置。本发明具有提高预涂辊子的涂敷液清洗能力并简化清洗装置结构的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 辊子 清洗 单元 方法 基板涂敷 装置 | ||
【主权项】：
1、一种清洗单元，用于清洗基板涂敷装置的预涂辊子，其特征在于包含：外壳；向所述外壳内部发射超声波的超声波生成单元。
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