[发明专利]检查装置和检查方法

摘要

本发明提供一种检查装置，该检查装置能够不增加已有的单装载类型的检查装置的占地面积而在实现省空间化的同时将其改变成双装载类型的检查装置，而且能够与单装载类型用的自动搬送线结合而提高检查效率。本发明的检查装置包括对晶片进行检查的探针室、和沿着该探针室的侧面配置的装载室，装载室包括：载置收容多个晶片的晶片盒并且沿着侧面相互分离而配置的两个装载端口、和配置在这些装载端口之间并且在这些装载端口与探针室之间搬送晶片的晶片搬送装置，其中，各装载端口分别沿着自动搬送晶片盒的自动搬送装置的搬送线配置。

主权项

1.一种检查装置，其特征在于：包括对被处理体进行检查的探针室、和沿着该探针室的侧面配置的装载室，所述装载室包括：载置收容多个所述被处理体的框体并且沿着所述侧面相互分离而配置的两个装载端口；和配置在这些装载端口之间并且在这些装载端口与所述探针室之间搬送所述被处理体的搬送机构，其中，所述各装载端口分别沿着所述框体的自动搬送装置的搬送路径配置。