[发明专利]用于晶片的夹紧装置

摘要

本发明涉及一种用于将晶片可松开地固定在可移动的晶片台上的夹紧装置，该夹紧装置包括支承元件、布置在所述支承元件上的固定的夹紧元件和可移动的夹紧元件，该可移动的夹紧元件同样布置在所述支承元件上并且可以在打开位置和关闭位置之间移动。由此当可移动的夹紧元件处于关闭位置时，晶片可以在固定的夹紧元件和可移动的夹紧元件之间夹紧。该夹紧装置还包括弹簧元件，该弹簧元件如此地同可移动的夹紧元件耦连，使得可移动的夹紧元件在关闭位置的方向上被预紧，其中可移动的夹紧元件如此地构造，使得它在支承元件朝着取出位置移动时，可以借助固定的接触元件而带到所述打开位置。

主权项

1.用于将晶片(150)可松开地固定在可移动的晶片台(125)上的夹紧装置，它具有·支承元件(130、230、330)，·固定的夹紧元件(131、231a)，该夹紧元件(131、231a)布置在所述支承元件(130、230、330)上，·可移动的夹紧元件(160、360)，该可移动的夹紧元件(160、360)同样布置在所述支承元件(130、230、330)上，并且该可移动的夹紧元件(160、360)可以在打开位置和关闭位置之间移动，其中当该可移动的夹紧元件(160、360)处于关闭位置中时，晶片(150)可以在固定的夹紧元件(131、231a)和可移动的夹紧元件(160、360)之间夹紧，·弹簧元件(365)，该弹簧元件(365)如此地同所述可移动的夹紧元件(160、360)耦连，使得可移动的夹紧元件(160、360)朝着关闭位置的方向被预紧，其中所述可移动的夹紧元件(160、360)如此地构造，使得它在支承元件(130、230、330)朝着取出位置移动时，可以借助固定的接触元件(380)而被带到打开位置。