[发明专利]半导体装置

摘要

本发明涉及一种半导体装置。提供了占据小面积的用于检测探测时的位移的图案，在探测中当探针发生位移时该图案能够检测位移的方向。用于检测探测时的位移的图案成对地设置于与IC芯片相邻的划线区中，用于检测探测时的位移的图案由同心地形成的内导体和距内导体微小距离设置的外导体形成，并且该外导体被分成多个部分。

主权项

1.一种半导体装置，包括：硅衬底；形成于所述硅衬底上且包括晶体管和焊盘区的多个IC芯片；以及用于检测探测时的位移的图案，其包括内导体和与所述内导体隔开一定距离设置的外导体，所述内导体和所述外导体彼此同心。