[发明专利]软模的制造装置以及使用该装置制造软模的方法有效
| 申请号： | 200710110866.8 | 申请日： | 2007-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN101089731A | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 金珍郁;南姸熙 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/004;H01L21/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用模形成图案的制造装置和制造方法。该制造涉及在诸如液晶显示器(LCD)或者有机电致发光显示器(OELD)的显示器件中用作转换元件和驱动元件的薄膜晶体管(TFT)。该制造方法和制造装置使用在基本真空的环境下粘接到背板的树脂层制造软模。可以使用紫外(UV)光照射树脂层并且然后将树脂层从主板上分离以形成期望的图案。该制造工艺使软模相对较薄且重量轻，并且能够避免被损害。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 装置 以及 使用 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制造软模的方法，包括：制备包括至少一个图案的主板；在所述主板上的至少一个图案上方设置树脂层；在基本真空的环境下使背板与树脂层接触；固化所述树脂层；以及将所述树脂层与所述主板分离。
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