[发明专利]探测器的控制方法和控制程序

摘要

本发明公开了一种能够提高吞吐量的探测器控制方法和控制程序。在步骤S2中，测试芯片。在步骤S3中，当合格芯片的计数Y达到构成测试条件的合格芯片的预定数目X时，过程前进到步骤S10。在步骤S10中，当时所发生的晶片测试被中断，并且该晶片被存储在输出卡带OC1中。在随后的步骤S11中，随后的晶片被测试并且被存储在输出卡带OC2中(步骤S12)。当所有晶片都已被测试时，过程前进到步骤S14，并且这一批组的测试完成。因此，仍未被测试的晶片和已被测试的晶片被分别存储在输入卡带和输出卡带中。

主权项

1.一种探测器控制方法，该探测器测试在半导体晶片上制造的多个半导体器件，所述探测器控制方法包括以下步骤：从第一存储单元中取出需要测试的半导体晶片并且顺序地测试所述半导体晶片上的半导体器件，其中将被测试的多个半导体晶片被存储在所述第一存储单元中，以及将已被测试的半导体晶片存储在第二存储单元中，其中，所述测试步骤和存储步骤被重复。