[发明专利]测试用探针基板及其制造方法无效
| 申请号： | 200710123492.3 | 申请日： | 2007-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101140296A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 柳达来 | 申请（专利权）人： | 艾佩思有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄威;徐金伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种探针基板及其制造方法，探针基板包括：探针，其包括多个横杆和形成在横杆一侧末端部的接触体；支撑基板，其用于支撑所述探针，且具有可以使所述探针上下方向弯曲的弯曲空间，而且支撑基板的上部表面形成有沟道氧化膜。根据本发明，由于在横杆和支撑基板之间的邻接部中形成有沟道氧化膜，因此，可防止因横杆的反复弯曲动作使应力集中在横杆和支撑基板的邻接部，而使邻接部的损伤。因此，可以使横杆和支撑基板之间保持电绝缘性而防止漏电。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 探针 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针基板，其特征在于包括：探针，其包括具有第一端部、第二端部的横杆及形成在所述横杆第一端部的接触体；支撑基板，其用于支撑所述探针的第二端部，且具有可以使所述探针的第一端部上下方向弯曲的弯曲空间；沟道氧化膜，其形成在所述支撑基板的上部表面，所述沟道氧化膜，在所述支撑基板支撑探针的区域中，至少形成于与所述弯曲空间相邻接的区域。
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